分子泵技術檢測：保障性能與可靠性的關鍵分子泵作為現代高真空、超高真空系統的動力源，其性能與可靠性直接決定了整個真空環境的品質。對分子泵進行系統、的技術檢測至關重要，主要涵蓋以下項目：1. 性能檢測： * 極限真空： 在特定前級真空條件下，測量分子泵所能達到的低壓力，這是衡量其抽氣能力的基礎指標。需使用高精度真空計（如冷陰極規或電容薄膜規）在穩定狀態下測量。 * 抽氣速率： 測量分子泵在特定入口壓力下，對不同氣體（常用氮氣）的抽速。通常采用“定壓法”或“定容法”，通過流量計和壓力計聯合測量。 * 壓縮比： 評估分子泵對特定氣體（尤其是重氣體如氣、氣）的抽除能力，指入口壓力與出口壓力之比。高壓縮比是分子泵處理重氣體的關鍵優勢。2. 可靠性及運行特性檢測： * 振動： 使用精密振動傳感器測量泵體在運行時的振動幅度和頻譜。過大的振動不僅影響泵壽命，還可能干擾精密儀器。 * 噪音： 在特定距離和位置測量泵運行時的聲壓級，是工作環境舒適性的重要指標。 * 溫度： 監控泵體關鍵部位（如電機外殼、軸承區）的溫度，確保其在設計允許范圍內運行，防止過熱損壞。 * 啟動與停止特性： 測試啟動時間、達到工作轉速時間、停止時間及惰轉時間，評估電機驅動及軸承系統性能。 * 軸承狀態監測 (部分泵)： 通過振動頻譜分析或電流監測，間接評估軸承磨損情況，實現預測性維護。 * 氣密性： 檢查泵體及連接法蘭的密封性，確保無泄漏。這些檢測通常在真空測試臺架上進行，遵循嚴格的標準（如ISO、企業標準）。通過的技術檢測，不僅能驗證分子泵是否達到設計指標，更能早期發現潛在缺陷，確保其在實際應用中長時間穩定、、低噪運行，為科研、半導體、鍍膜等關鍵領域提供堅實的真空保障。